VIGOR Product Express|Plūsmas slēdzis VEFS2 sērija

Mākslīgā intelekta,{0}}augstas veiktspējas skaitļošanas (HPC), automobiļu elektronikas un lietiskā interneta lietojumprogrammu vadīta pusvadītāju nozare piedzīvo straujas pārmaiņas. Tomēr šī ievērojamā izaugsme ir radījusi arī jaunas darbības problēmas. Tā kā ražošanas apjomi paplašinās bezprecedenta ātrumā, pusvadītāju ražošanā plaši tiek izmantotas augstas riska speciālās gāzes, piemēram, silāns un fosfīns. Jebkura nekontrolēta gāzes noplūde, ko izraisa cauruļvada plīsums, vaļīgi savienojumi, blīvējuma bojājums vai nepareiza uzstādīšana, var ātri pāraugt nopietnā drošības incidentā, apdraudot personāla drošību, sabojājot kritiskās ražošanas iekārtas un radot dārgas neplānotas dīkstāves. Ņemot to vērā, VIGOUR pārmērīgas plūsmas slēdzis (EFS) ar tā tīri mehānisko iedarbināšanas konstrukciju un izcilu īpaši -augstas-tīrības (UHP) savietojamību ir kļuvis par neaizstājamu drošības līdzekli speciālām gāzes apgādes sistēmām, tostarp gāzes skapjiem un VMB, pusvadītāju ražošanas līnijās visā pasaulē.

VIGOR EFS galvenais dizaina princips ir noteikt neparastus plūsmas apstākļus un uzticami reaģēt. Ja pakārtotā cauruļvada atteice izraisa pēkšņu un pārmērīgu plūsmas pieaugumu, kas pārsniedz iepriekš iestatīto kritisko izslēgšanas punktu, ierīce nekavējoties aktivizē atbildes signālu. Šis signāls tiek pārraidīts, atverot vai aizverot elektriskos kontaktus iebūvētajā -niedru slēdžā, kas pēc tam tiek sinhronizēts un nosūtīts uz SCADA sistēmu vai gāzes uzraudzības sistēmu (GMS). Nodrošinot reāllaika -brīdinājumus un nodrošinot ātru automatizētu reakciju, tas atbalsta proaktīvu drošības pārvaldību, efektīvi mazina iespējamos apdraudējumus un stiprina gāzes piegādes tīkla vispārējo uzticamību.

Pusvadītāju ražošanas procesos katrs gāzes sistēmas komponents var kļūt par potenciālu piesārņojuma avotu. Pat sīkas daļiņas, metāliski piemaisījumi vai virsmas adsorbcija var apdraudēt vafeļu kvalitāti un samazināt ražošanas ražu. Tāpēc VIGOR stingri ievēro stingros pusvadītāju nozares standartus, lai nodrošinātu materiāla tīrību, virsmas tīrību un darbības stabilitāti.

Materiālu standartu ziņā VIGOR izmanto tikai 316 l nerūsējošo tēraudu, kas ražots, izmantojot VIM/VAR dubulto{1}}kausēšanas tehnoloģiju. Šis progresīvais metalurģijas process ievērojami samazina metāliskus ieslēgumus un atlikušos piemaisījumus, nodrošinot izcilu izturību pret koroziju un samazinot gāzes piesārņojuma risku. Virsmas apstrādei visi produkti tiek pakļauti uzlabotai elektropulēšanai (EP), saglabājot iekšējo virsmas raupjumu 5–10 μin. Šāds gluds, tīrs iekšpuse neļauj gāzes molekulām adsorbēties uz iekšējām sienām un novērš daļiņu nogulsnēšanos, tādējādi nodrošinot stabilu un nepiesārņojošu{7}gāzes piegādi.

Turklāt VIGOR EFS piedāvā plašu kritisko izslēgšanas punktu izvēli un elastīgas konfigurācijas iespējas, kas piemērotas dažādiem lietojuma scenārijiem. Izmantojot vienkāršu parametru saskaņošanu, lietotāji var viegli noteikt precīzu modeli, pamatojoties uz konkrētiem gāzes veidiem, darba spiediena apstākļiem un maksimāli pieļaujamajiem plūsmas ātrumiem. Šī augstā pielāgošanas pakāpe nodrošina precīzu un uzticamu aizsardzību pret pārplūdi dažādiem īpaši-augstas-tīrības gāzes lietojumiem mūsdienu pusvadītāju ražošanā.

  Plūsmas slēdzis lielas plūsmas lietojumiem

 Pieejams ar horizontālu vai vertikālu galveno līniju

 Minimāls spiediena kritums caur ierīci

 SS 316L nerūsējošais tērauds