Veidot
VDV31UA
Ievads
• UHP diafragmas vārsts
• Nerūsējošais tērauds 316L korozijas gāzēm
• ieplūdes spiediena max 300 bārs
• Kreisā vai labā sviras virziens izslēgšanai
• Plašs ieejas un noieta tirgus
• Metāla-metāla blīvējums līdz atmosfērai
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 4500 psig (300 bar) |
|
| Maks. Darba temp | 14 grāds F ~ 104 grāds F (-10 grāds ~ 40 grāds) | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | Cv =0. 1 | |
| Atvere | 42.7mm | |
| Svars | apm. 0. 25kg | |
Vdv32ub
Ievads
• Piemērots augstas tīrības, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma gāzēm
• Tieša diafragmas konstrukcija ar labāku blīvējumu
veiktspēja, ievērojama izturība, kompaktums un daļiņa
un bez kosmosa veiktspēja
• Vārsta atvērtā un slēgtā opcija ir viegli redzama vienā mirklī
• Lieliskas gāzes pārvietošanas īpašības
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds/PFA ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 150 psig (10 bārs) |
|
| Pneimatiskais darba spiediens | 58 ~ 87pSig (4-6 josla) | |
| Maks. Darba temp | 14 grāds F ~ 104 grāds F (-10 grāds ~ 40 grāds) | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | 1/4 "CV =0. 3 3/8" 1/2 "CV =0. 65 | |
| Svars | apm. 0. 27kg | |
Produktu attēls
Vdv33ub
Ievads
• Piemērots ultra-lure, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma līnijām pusvadītājā
Ražošanas aprīkojums un iespējas
• Tieša diafragmas konstrukcija ar labāku blīvējumu
veiktspēja, ievērojama izturība, kompaktums un daļiņa un
bez kosmosa veiktspēja
• Vārsta atvērtā un slēgtā pozīcija ir viegli redzama vienā mirklī
• Lieliskas gāzes pārvietošanas īpašības
• EP ārstēšana ir standarta visām mitrajām virsmām
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds/PFA ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 3000 psig (206 bārs) |
|
| Pneimatiskais darba spiediens | 58 ~ 87pSig (4-6 josla) | |
| Maks. Darba temp | 14 grāds F ~ 104 grāds F (-10 grāds ~ 40 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | 1/4 "CV =0. 1 3/8" 1/2 "CV =0. 5 | |
| Svars | apm. 0. 27kg | |
Produktu apraksts
Vdv52ub
Ievads
• Piemērots ultra-lure, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma līnijām pusvadītājā
Ražošanas aprīkojums un iespējas
• Tieša diafragmas konstrukcija ar labāku blīvējumu
veiktspēja, ievērojama izturība, kompaktums un daļiņa un
bez kosmosa veiktspēja
• Vārsta atvērtā un slēgtā pozīcija ir viegli redzama vienā mirklī
• Lieliskas gāzes pārvietošanas īpašības
• EP ārstēšana ir standarta visām mitrajām virsmām
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds/PFA ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 300 psig (20 bārs) |
|
| Pneimatiskais darba spiediens | 58 ~ 87pSig (4-6 josla) | |
| Maks. Darba temp | 14 grāds F ~ 104 grāds F (-10 grāds ~ 40 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | 1/4 "CV =0. 3 3/8" 1/2 "CV =0. 65 | |
| Svars | apm. 0. 27kg | |
Produktu attēls
Vdv22ub
Ievads
• Piemērots ultra-lure, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma līnijām pusvadītājā
Ražošanas aprīkojums un iespējas
• Tieša diafragmas konstrukcija ar labāku blīvējumu
veiktspēja, ievērojama izturība, kompaktums un daļiņa un
bez kosmosa veiktspēja
• Vārsta atvērtā un slēgtā pozīcija ir viegli redzama vienā mirklī
• EP ārstēšana ir standarta visām mitrajām virsmām
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds/PFA ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 150 psig (10 bārs) |
|
| Pneimatiskais darba spiediens | 58 ~ 87pSig (4-6 josla) | |
| Maks. Darba temp | 14 grāds F ~ 104 grāds F (-10 grāds ~ 40 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | 1/4 "CV =0. 3 3/8" 1/2 "CV =0. 65 | |
| Svars | apm. 0. 27kg | |
VDV36
Ievads
• Izmantojot izcilas degazēšanas īpašības
līdz minimālam plūsmas ceļam, apvienojot 2 no VDV32, VDV33
UHP diafragmas vārsti kopā vienā vārsta korpusā.
• Mazāk metinājumu virs standarta vārstu izlīdzināšanas
• Samazina kosmosa prasības
• Kompakta cauruļu izkārtojums
• Dead Space bezmaksas konfigurācija
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 150 psig (10 joslas) 3000 psig (206 bārs) pēc izvēles |
|
| Pneimatiskais darba spiediens | 58 ~ 87pSig (4-6 josla) | |
| Maks. Darba temp | 14 grāds F ~ 104 grāds F (-10 grāds ~ 40 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | CV =0. 3 (zems spiediens) CV =0. 1 (augstspiediena) | |
| Svars | apm. 0. 27kg | |
VDV37
Ievads
• Piemērots ultra-lure, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma līnijām
Pusvadītāju ražošanas aprīkojums un iespējas
• Tieša diafragmas konstrukcija ar labāku blīvējumu
veiktspēja, ievērojama izturība, kompaktums un
Daļiņu bezmaksas veiktspēja
• Vārsta atvērtā un slēgtā pozīcija ir viegli redzama vienā mirklī
• Lieliskas gāzes pārvietošanas īpašības
• EP ārstēšana ir standarta visām mitrajām virsmām
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 250 psig (17 bārs) |
|
| Pneimatiskais darba spiediens | 80 ~ 100pSig (5. 5-6. 8bar) | |
| Maks. Darba temp | -40 grāds F ~ 159 grāds F (-40 grāds ~ 71 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | Cv =2. 8 | |
| Svars | apm. 1,36 kg | |
VDV38
Ievads
• Piemērots ultra-lure, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma līnijām
Pusvadītāju ražošanas aprīkojums un iespējas
• Tieša diafragmas konstrukcija ar labāku blīvējumu
veiktspēja, ievērojama izturība, kompaktums un
Daļiņu bezmaksas veiktspēja
• Vārsta atvērtā un slēgtā pozīcija ir viegli redzama vienā mirklī
• Lieliskas gāzes pārvietošanas īpašības
• EP ārstēšana ir standarta visām mitrajām virsmām
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 3000 psig (206 bārs)/ 1300 psig (90bar) |
|
| Iedarbināšanas spiediens | 70 ~ 110 psig (5-8 josla) | |
| Maks. Darba temp | -40 grāds F ~ 159 grāds F (-40 grāds ~ 71 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | Manuālais pievads CV {{0}}. 0 | |
| pneimatiskais pievads | Cv {{0}}. 0 (90bar) / cv =0. 7 (206 joslas) | |
| Svars | apm. 1,27 kg | |
VDV39
Ievads
• Piemērots ultrave-tīrām, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma līnijām pusvadītāju ražošanas iekārtās un telpās
• Tieša diafragmas konstrukcija ar izcilu blīvējuma veiktspēju, ievērojamu izturību, kompaktumu un
Daļiņu un bezkaislības veiktspēja
• Produkts ir izgatavots atbilstoši VS001A procesa specifikācijai
• Vārsta atvērtā un slēgtā pozīcija ir viegli redzama vienā mirklī
• Lieliskas gāzes pārvietošanas īpašības
• EP ārstēšana ir standarta visām mitrajām virsmām
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 270 psig (18,6 bārs) |
|
| Pneimatiskais darba spiediens | 80 ~ 100pSig (5. 5-6. 8bar) | |
| Maks. Darba temp | 14 grāds F ~ 104 grāds F (-10 grāds ~ 40 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | Cv =2. 8 | |
| Svars | apm. 1. 0 kg | |
Produktu attēls
VDV40
Ievads
• Piemērots ultrave-tīrām, viegli uzliesmojošām vai toksiskām šķidruma līnijām pusvadītāju ražošanas iekārtās un telpās
• Tieša diafragmas konstrukcija ar izcilu blīvējuma veiktspēju, ievērojamu izturību, kompaktumu un
Daļiņu bezmaksas veiktspēja
• Produkts ir izgatavots atbilstoši VS001A procesa specifikācijai
• Vārsta atvērtā un slēgtā pozīcija ir viegli redzama vienā mirklī
• Lieliskas gāzes pārvietošanas īpašības
• EP ārstēšana ir standarta visām mitrajām virsmām
• Standarta sēdekļa materiāls ir pctfe, poliimīds ir izvēles iespēja
Tehniskie parametri
| Maks. Darba spiediens | 3000 psig (206 bārs) |
|
| Iedarbināšanas spiediens | 70 ~ 110 psig (5-8 josla) | |
| Maks. Darba temp | -40 grāds f ~ 160 grāds F (-40 grāds ~ 71 grāds) | |
| Virsmas apdare | 10μin. Ra | |
| Materiāli | ||
| Ķermenis | 316L | |
| Diafragma | Elgilojs® | |
| Sēdekļu iepakojums | Pctfe | |
| Rokturis | Al | |
| Iekšējā noplūdes pabalsts | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Ārējā noplūdes piemaksa | 1x10^-9 mbar i/s viņš | |
| Plūsmas spēja | pneimatiskais pievads CV =0. 23 Manuāls izpildmehānisms CV =0. 29 | |
| Svars | apm. 1,27 kg | |
UHP īpaši augstas tīrības diafragmas vārsta tehniskais apraksts
UHP diafragmas vārsts (īpaši augsta tīrība) ir īpaši paredzēts nozarēm ar ārkārtīgi augstām gāzes tīrības prasībām, piemēram, pusvadītāju, fotoelektrisko un biofarmaceitisko sektoru. Tas nodrošina gāzes piegādi bez noplūdes un bez piesārņojuma, ievērojot ultra tīrus standartus. Vārsta galvenā iezīme ir tā diafragmas izolācijas dizains, kas novērš kontaktu starp vārsta stumbru un barotni, pilnībā novēršot daļiņu izdalīšanās risku.
Galvenās funkcijas
Manuālais tips: Ideāli piemērots zemas frekvences operācijai vai maziem plūsmas scenārijiem ar vienkāršu un uzticamu dizainu. Tas nāk ar augstas precizitātes graduētu roku, lai veiktu smalkas korekcijas.
Pneimatiskais tips: Integrēts ar izpildmehānismu (vienas darbības/divkāršās darbības) atbalsta PLC vadību un atver/aizver mazāk nekā 1 sekundes, padarot to piemērotu automatizētām ražošanas līnijām un augstfrekvences lietojumprogrammām.
VCR (vakuuma savienojuma saglabāšana): Metāla blīvējuma blīvējums, kas ideāli piemērots īpaši augsta vakuumam (mazāk vai vienāds ar 1 0 ⁻⁹ Torr) un ultra-tūrisma gāzes sistēmām. Standarta 316L nerūsējošā tērauda interjers ar RA ir mazāks vai vienāds ar 0,2 μm elektropoles apdari.
NPT (Nacionālā cauruļu pavediens): Konusveida diegu blīvējuma, kurai nepieciešama PTFE lente vai hermētiķis, kas piemērots vidējam vai zema spiediena rūpnieciskam lietojumam.
Caurules montāža: Swagelok® saderīgs dizains ātrai savienošanai un uzstādīšanai. Ideāli piemērots maza diametra sistēmām (1/8 "–1/2").
Spiediena diapazons: Vakuums līdz 1500 psig (pielāgoti modeļi ir pieejami līdz 6000 psig).
Plūsmas kontrole: CV vērtības no 0. 02 līdz 2,5, ar nulles mirušo kāju vārsta korpusa dizainu, lai samazinātu vidēju atlikumu.
Noplūdes ātrums: Hēlija noplūdes ātrums ir mazāks vai vienāds ar 1 × 10⁻⁹ CC/sek, Semi F20 noplūdes standarti.
Ķermeņa materiāls: ASTM A182 F316L Ultra-zema oglekļa nerūsējošā tērauda ar EP (elektropolēta) + pasivācijas apstrāde.
Diafragma: PTFE/FKM/PFA composite laminated diaphragm, with temperature resistance from -20°C to 180°C and lifespan >1 miljons ciklu.
Blīvējums: Pilns metāla silfons Sekundārais blīvējums, lai novērstu ārējo noplūdes risku.
Zems spiediens, mikroplūsma: VDV32 UA sērija, 1/4 "VCR interfeiss, CV =0. 02, piemērota AR/N₂ nesējgāzes kontrolei.
Vidēja vai augstspiediena: VDV52UB, VDV37 UB sērija, 1/2 "NPT interfeiss, pārsprāgt spiediens lielāks vai vienāds ar 3000 psig, piemērots kodīgām gāzēm (Cl₂/HCl).
Augstas tīrības prasības: VDV31UA, VDV38UB, VDV40UB sērija, pilna plūsmas EP + plazmas tīrīšana, Metāla jonu satura SIMS analīze<1 ppb.
Kopīgas problēmas un Q&A
Kā izvēlēties starp manuālo vai pneimatisko?
Manuālie vārsti ir piemēroti atkļūdošanai vai uzturēšanai, savukārt pneimatiskajiem vārstiem ir nepieciešami solenoīdi un gaisa avoti, kas ir ideāli piemēroti automatizētām ražošanas līnijām.
VCR un NPT interfeisa saderība?
VCR ir nepieciešami metāla blīves (piemēram, niķelis/varš) īpaši augstu blīvējumam; NPT vajadzētu izvairīties no hermētiķa piesārņojuma, un to vislabāk var izmantot nejutīgiem nesējiem.
Kas ietekmē diafragmas kalpošanas laiku?
Bieža pārslēgšanās, kodīga vide un temperatūras svārstības paātrina novecošanos. Ieteicams nomainīt diafragmu ik pēc 2 gadiem vai pēc 500, 000 cikliem.
Kā pārbaudīt vārsta tīrību?
Tam jāiziet daļēji F19 daļiņu pārbaude (mazāka vai vienāda ar 5 daļiņām/ft³ @0. 1μm) un GC-MS organisko atlikumu analīzi.
Lietojumprogrammu scenāriji
Īpaša gāzes piegāde vafeļu rūpnīcās (Sih₄/NH₃)
Farmaceitiskā rūpniecība WFI (ūdens injekcijai) cauruļvadi
Analītisko instrumentu nesējgāzes sistēmas (GC/ICP-MS)
Populāri tagi: UHP diafragmas vārsts, Ķīnas UHP diafragmas vārstu ražotāji, piegādātāji
